В ходе прошедшего визита сотрудников НИИ молекулярной электроники в рамках цикла мероприятий предстоящей недели факультета электроники было взято небольшое интервью. В нём представители предприятия подробнее рассказывают о передовых разработках в сфере интегральных схем, нано- и микроэлектроники, а также о перспективах профессионального развития.

25 марта РГРТУ посетили представители Научно-исследовательского института молекулярной электроники.

В первом блоке удалось пообщаться с начальником одной из лабораторий Игорем Зубовым.

— Какие главные достижения в области разработок были сделаны в последние годы в разработке интегральных схем НИИМЭ?

За последнее время в лаборатории разработки интегральных схем мы спроектировали ячейку энергонезависимой памяти с уменьшенной площадью. Стандартная ячейка памяти занимает площадь приблизительно 2,3 квадратных микрометров, а уменьшенная ячейка в два раза меньше. На основе этой разработки были спроектированы паспортные документы нового поколения, которые сейчас внедряются. Также мы разрабатываем интегральные схемы для использования в банковских картах. И основным направлением у нас является разработка интегральных схем для транспортных карт. Например, транспортная карта «Тройка». Сейчас планируется внедрение нового поколения.

— Какие перспективы развития открываются перед студентами, попадающими на стажировку или практику на предприятии?

У нас дружный коллектив, опытные сотрудники готовы делиться знаниями, открытые к новым идеям. Кроме того, НИИМЭ ведет разработку для наиболее совершенных технологий в нашей стране. Для этого используются современные инструменты и оборудование. Таким образом, работа у нас – это шанс попробовать себя в этой сложной и интересной работе.

— Какие актуальные проблемы стоят в области исследования интегральных схем?

Что касается развития интегральной электроники и исследований в этой области, то основные задачи — это повышение быстродействия, снижение потребления и стоимости конечных изделий. Общеизвестно, что со снижением технологических норм растет быстродействие, однако также и токи утечки транзисторов начинают возрастать. Кроме того, стоимость фабрик с уменьшением технологических норм значительно возрастает. Все это ведет к тому, что предпринимаются попытки найти такие подходы и материалы, которые позволили бы поднять степень интеграции без ущерба для стоимости потребления. Соответственно, я бы выделил такие направления, как новые виды энергонезависимой памяти. У нас в отделе ведутся разработки этого направления: альтернативные полупроводниковые материалы, способы совмещения интегральных схем в корпусе или микросборке, вертикальное совмещение, энергосберегающие технологии в интегральных схемах, микросхемы для искусственного интеллекта, силовые микросхемы, например, для аккумуляторов, микросхемы для интернета вещей, коммуникационная интеграммированная система, сейчас, как раз, набираются сети пятого поколения.

После на вопросы смог ответить управляющий одного из отделов НИИМЭ Андрей Глинский.

— Какие преимущества предлагает ваша инфраструктура нано- и микроэлектронных производств?

Повышение частоты технологической среды и исключение загрязнения технологических сред при доставке и транспортировке к основному технологическому оборудованию позволяет уменьшать технологический размер элементов микросхем до десятков и даже единиц нанометров. Это является основным преимуществом в данной инфраструктуре.

— Какие направления разработки являются опорными в вопросе взаимодействия сотрудничества с РГРТУ и другими техническими вузами, осуществляющими подготовку по образовательным программам направлений, связанных с молекулярной электроникой?

В частности, по направлению инфраструктуры для нано- и микроэлектронных производств, точек взаимодействия, конечно, много. Первое – это подготовка инженеров по разработке оборудования для доставки и транспортировки жидких химических реактивов, дизельной воды и специальных магистральных газов. Второе — по созданию систем контроля качества технологических средств. Имеется в виду разработка аналитического оборудования или датчиков, которые встраиваются в различные участки технологических установок по получению и транспортировке. Также подготовка специалистов по обслуживанию и наводке технологического оборудования.

— Какие инновационные проекты, способствующие развитию отечественных разработок в области нано- и микроэлектроники, ведутся в вашей лаборатории?

Многие разработки на данном этапе связаны с заменой импортных материалов, используемых в существующих производствах микросхем 90 нм и 65 нм. В части проведение контрольных испытаний по частоте получаемых материалов и создание методик измерения. Например, сейчас наша лаборатория проводит работы по контролю частиц в отечественных суспензиях, используемых в стадиях химико-механической полировки пластин методом динамического рассеянного света. Еще одна работа создания российских проточных счетчиков частиц для контроля сверхчистых химических реактивов с разрешением от менее 0,1 мкм по размеру частиц. К сожалению, в России таких счетчиков не производят. Наша лаборатория участвует сейчас в создании еще одной лаборатории по контролю содержания примесей в технологических средах. Мы создаем и разрабатываем проект в чистых комнатах и подбираем аналитическое оборудование для оснащения данной лаборатории. И в дальнейшем уже будут в этой лаборатории проводиться различные исследования по разработке методик измерения сверхчистых технологических сред. Также в нашей лаборатории идет параллельная работа по разработке особо чистых рабочих мест для процессов пробподготовки, потому что это достаточно непростая задача и очень важная для лаборатории. Ещё есть проекты по созданию установок приготовления различных смесей с низким снижением примесей и с разным составом. Сейчас в нашей лаборатории ведётся работа по улучшению характеристик стандарта, связанного с чистой помещением технологических средств.